具有混合驱动的微型机械继电器

摘要

微型机械继电器有一个由衔铁基体(52)腐蚀出来的舌簧状衔铁(53)，此衔铁(53)与衔铁基体弹性连接，它与一个在它下面的基座(51)的基座电极(58)构成了一种静电驱动。此外，在衔铁(53)上设有压电层(60)，它起弯曲变换器的作用，并构成一种附加的驱动。当在衔铁(53)的电极、基座(51)的电极和压电层(60)的电极上施加一个电压时，衔铁被吸在此基座上，并因而在至少一个触头(55、56)闭合的情况下，衔铁大面积地贴靠在此基座上。此时，静电驱动和压电驱动的不同特性线叠加在一起，所以，既能在衔铁运动开始时产生一个大的吸引力，又能在衔铁吸住后产生一个大的接触力。

主权项

1.微型机械的继电器，它有一个基座(51)，基座(51)上有一个扁平的基座电极(58)和至少一个固定的静触头(56)，有至少一个舌簧状的衔铁(53)，它的一端与基体(52)弹性连接，衔铁(53)上有一个处于基座电极(58)相对位置的衔铁电极(57)以及与静触头(56)处于相对位置的衔铁触头(55)，对于这种继电器，当在衔铁电极(23、57)与基座电极(11、58)之间施加一个电压时，衔铁被吸引在基座上，其特征为：衔铁(53)上至少局部地设有一个起弯曲变换器作用的压电层(60)，在激励时它的弯曲力支持了基座电极与衔铁电极之间的静电吸引力。