| 发明名称 | 炉管晶舟之支榖装置 | ||
| 摘要 | 本案系一种炉管晶舟之支撑装置，其系用于一炉管内，俾支撑置于该炉管内之晶舟；其包括：一陶瓷杆；一套管，其将该一陶瓷杆明于其内，俾具真空隔离效用并防止炉内之反应物于该陶瓷杆表面形成薄膜而产生薄膜应力、一保护管，其套装于该套管，俾使该套管免于承受该薄膜应力；俾以该保护管来防止该薄膜于该具隔离真空作用之套管之表面生成，而使该套管不易断裂。 | ||
| 申请公布号 | TW281342 | 申请公布日期 | 1996.07.11 |
| 申请号 | TW083205010 | 申请日期 | 1994.04.14 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 许志清;游福阳 |
| 分类号 | H01L23/32 | 主分类号 | H01L23/32 |
| 代理机构 | 代理人 | 蔡清福 台北巿忠孝东路一段一七六号九楼 | |
| 主权项 | 1. 一种炉管晶舟之支撑装置,其系用于一炉管内,俾支撑置于该炉管内之晶舟;其包括:一陶瓷杆,其具强支撑力,俾支撑该晶舟;一套管,其将该一陶瓷杆套于其内,俾防止炉内之反应物于该陶瓷杆表面形成薄膜而产生薄膜应力;一保护管,其套装于该套管,俾使该套管免于承受该薄膜应力。2. 如申请专利范围第1项所述之炉管晶舟之支撑装置,该套管系一石英套管。3. 如申请专利范围第1项所述之炉管晶舟之支撑装置,该套管系中空圆柱状。4. 如申请专利范围第1项所述之炉管晶舟之支撑装置,该保护管系一石英管。5. 如申请专利范围第1项所述之炉管晶舟之支撑装置,该保护管系中空圆柱状。6. 如申请专利范围第1项所述之炉管晶舟之支撑装置,该套管与该保护管间之套设,系以石英焊接而成。图示简单说明: | ||
| 地址 | 新竹科学工业园区工业东三路三号 | ||