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发明名称 VERFAHREN ZUR VERBESSERUNG DER HOCHOHMIGKEIT EINES HALBLEITERSUBSTRATES MIT NIEDEROHMIGER HALBLEITERSCHICHT
摘要
申请公布号 DD225264(A1) 申请公布日期 1985.07.24
申请号 DD19840264969 申请日期 1984.07.05
申请人 ADW DER DDR,DD 发明人 FRIEDLAND,KLAUS-JUERGEN,DD;RENTZSCH,ROLF,DD
分类号 H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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