| 发明名称 |
NOZZLE FOR USE IN THIN-FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU4738285(A) |
申请公布日期 |
1986.03.20 |
| 申请号 |
AU19850047382 |
申请日期 |
1985.09.11 |
| 申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN;TAIYO YUDEN KK |
发明人 |
YUTAKA HAYASHI;ATSUO ITOH;HIDEYO IIDA |
| 分类号 |
H01B5/14;B05B1/14;C03C17/25;C23C18/12;H01B13/00;H01L21/283;H01L21/288;H01L31/042 |
主分类号 |
H01B5/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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