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发明名称 ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6358932(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860203248 申请日期 1986.08.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MATSUMURA KIMIHARU;YOSHIOKA KAZUTOSHI;SAKAI HIROYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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