发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING A MESA
摘要
申请公布号 US5128276(A) 申请公布日期 1992.07.07
申请号 US19900626585 申请日期 1990.12.07
申请人 U.S. PHILIPS CORPORATION 发明人 AMBROSIUS, HUBERTUS P. M. M.;BOERRIGTER-LAMMERS, HELENA J. M.
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L31/10;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/227 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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