发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING A MESA |
摘要 |
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申请公布号 |
US5128276(A) |
申请公布日期 |
1992.07.07 |
申请号 |
US19900626585 |
申请日期 |
1990.12.07 |
申请人 |
U.S. PHILIPS CORPORATION |
发明人 |
AMBROSIUS, HUBERTUS P. M. M.;BOERRIGTER-LAMMERS, HELENA J. M. |
分类号 |
H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L31/10;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/227 |
主分类号 |
H01L21/203 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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