发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH07320672(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940134987 申请日期 1994.05.24
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIOJIRI SHIRO
分类号 H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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