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发明名称
APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH02208277(A)
申请公布日期
1990.08.17
申请号
JP19890025990
申请日期
1989.02.03
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
NAKANISHI FUMITAKE;TATSUMI MASAMI
分类号
C30B11/00;H01L21/208
主分类号
C30B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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