发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02263478(A) 申请公布日期 1990.10.26
申请号 JP19890085560 申请日期 1989.04.03
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 YAMAMOTO TOSHIRO
分类号 H01L21/205;H01L31/0264;(IPC1-7):H01L31/026 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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