发明名称 |
双级干式真空泵 |
摘要 |
一种双级干式真空泵,包括:泵体缸,有内部容纳空间,两侧有抽吸和排放端口;1、2级气缸,在内部容纳空间内;一对泵轴,穿过1、2级气缸平行安装;一对罗茨型转子,同步反向转动并与穿过1级气缸的泵轴啮合;一对螺杆型转子,同步反向转动并与穿过2级气缸的泵轴啮合;电动机,转动泵轴中任一个;一对齿轮,与泵轴啮合以使其同步转动;1级抽吸通道,将抽吸端口和1级气缸互连;排气传输通道,将1、2级气缸互连;1、2级排气通道级排气通道,分别将排气传输通道和2级气缸后端与排气端口互连;1、2级排气阀级排气阀,分别由1、2级排气通道排出的气体压力来开闭;及冷却水套,冷却水通过其循环以至少冷却2级气缸或泵轴的轴承支承部分。 |
申请公布号 |
CN106194734A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201510323386.4 |
申请日期 |
2015.06.12 |
申请人 |
大卫·金;(株)优成真空 |
发明人 |
大卫·金 |
分类号 |
F04C23/00(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I;F04C18/16(2006.01)I;F04C23/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I |
主分类号 |
F04C23/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
李丹丹 |
主权项 |
一种双级干式真空泵,包括:泵体缸,所述泵体缸包括内部容纳空间,并在所述泵体缸一侧具有抽吸端口,而在另一侧具有排放端口;1级气缸和2级气缸,所述1级气缸和所述2级气缸设置在所述泵体缸的所述内部容纳空间内;一对泵轴,该对泵轴穿过所述1级气缸和所述2级气缸平行地安装;一对罗茨型转子,该对罗茨型转子安装成在同步状态下反向转动,其中,所述罗茨型转子与穿过所述1级气缸的所述泵轴啮合;一对螺杆型转子,该对螺杆型转子安装成在同步状态下反向转动,其中,所述螺杆型转子与穿过所述2级气缸的泵轴啮合;电动机,所述电动机构造成转动所述一对泵轴中的任何一个;一对齿轮,该对齿轮与所述泵轴啮合,以使所述一对泵轴同步地转动;1级抽吸通道,该1级抽吸通道将所述抽吸端口和所述1级气缸互连;排气传输通道,该排气传输通道将所述1级气缸和所述2级气缸互连;1级排气通道,该1级排气通道将所述排气传输通道和所述排气端口互连;2级排气通道,该2级排气通道将所述2级气缸的后端和所述排气端口互连;1级排气阀,该1级排气阀由通过所述1级排气通道排出的所述气体压力来打开和关闭;2级排气阀,该2级排气阀由通过所述2级排气通道排出的所述气体压力来打开和关闭;以及冷却水套,冷却水穿过所述冷却水套循环,从而至少冷却所述2级气缸或所述泵轴的轴承支承部分。 |
地址 |
韩国首尔 |