| 摘要 |
본 발명은 티칭 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 티칭 방법은 기판을 지지하며 회전 가능한 지지판 상에 기판을 반송하는 로봇의 위치를 설정하는 티칭 방법에 있어서, 상기 로봇으로 상기 지지판 상에 상기 기판을 로딩하고, 상기 지지판을 설정각도 회전시킨 후, 상기 로봇으로 상기 기판을 상기 지지판으로부터 언로딩하고, 상기 로봇의 핸드 상에 놓인 상기 기판의 중심 틀어짐 값을 검출하는 것을 복수회 반복하여, 획득된 상기 중심 틀어짐 값들을 이용하여 상기 로봇의 위치를 설정한다. |
