感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機ＥＬ表示装置

摘要

ＨＭＤＳ等の疎水化処理の無い基板においても、現像時のパターン密着性と硬化膜の基板に対する密着性を両立することができる感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機ＥＬ表示装置を提供する。（１）（ａ１−１）酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および（ａ１−２）架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、（２）（ａ１−１）酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および（ａ１−２）架橋性基を有する構成単位を有する重合体、の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、一般式（１）で表される化合物、シランカップリング剤、光酸発生剤、ならびに溶剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記一般式（１）で表される化合物の含有量が、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対し０．１〜５．０質量％であり、上記シランカップリング剤の含有量の割合が上記一般式（１）で表される化合物の含有量に対し質量比で３．０倍より多く５０．０倍以下である、感光性樹脂組成物；一般式（１）中、ｎは４以上の整数、Ｒ1はｎ価の有機基、Ｒ2〜Ｒ5はそれぞれ独立に炭素数１〜１２の１価の有機基を表す；Ｒ6は炭素数１〜１２の１価のアルキル基を表す。