发明名称 | 一种优化的进片与抽气装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种优化的进片与抽气装置,包括一用于传送工件的传送台,所述传送台上设置有真空过渡室,所述真空过渡室设置在传送台的传送方向上,所述真空过渡室的进料口处活动设置有一门阀,所述传送台的中间位置设置有一组以上的对射传感器,这样当基板从大气传送台向真空过渡室行进过程中,当基板到达中间位置时,新增加的传感器感应到信号消息,控制系统得到这一信号消息并反馈给真空过渡室进行如下并行动作,真空泵抽气阀迅速关闭,同时放气阀开启,开始破真空并传递信号给门阀,破空完成后门阀即时开启,基板高速进入真空过渡室,这样大大的节省了基板从传送台进入到真空过渡室的时间,提高了进片效率。 | ||
申请公布号 | CN206052145U | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
申请号 | CN201621041024.2 | 申请日期 | 2016.09.06 |
申请人 | 中山瑞科新能源有限公司 | 发明人 | 陈金良;李贵成;何光俊;齐鹏飞 |
分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人 | 肖军 |
主权项 | 一种优化的进片与抽气装置,其特征在于:包括一用于传送工件的传送台(1),所述传送台(1)上设置有真空过渡室(2),所述真空过渡室(2)设置在传送台(1)的传送方向上,所述真空过渡室(2)的进料口处活动设置有一门阀(3),所述传送台(1)的中间位置设置有一组以上的对射传感器(4)。 | ||
地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区火炬路22号 |