テンプレート、インプリント装置および制御方法

摘要

【課題】インプリントマスクの寿命低下を抑制すること。【解決手段】実施形態にかかるテンプレートは、半導体ウエハに押印することでパターンを転写するインプリントのテンプレートであって、前記パターンが形成されたインプリントマスクと、前記インプリントマスクが設けられたフォトマスク基材と、前記フォトマスク基材における前記インプリントマスクの外周部に設けられ、前記フォトマスク基材を変形させる複数の変形制御部と、を備えてもよい。【選択図】図４