電磁波検出器、電磁波検出器アレイ、およびガス分析装置

摘要

波長λＡの電磁波を選択的に検出する電磁波検出器が、中空部を有する基板と、所定の波長λＡの電磁波と表面プラズモン共鳴を生じ、これを熱に変換して吸収する波長選択構造と、吸収された熱を検出する検知膜と、を含む温度検知部と、温度検知部を中空部の上に保持する支持構造と、を含み、支持構造は、更に、支持構造が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備える。