发明名称 一种抑制无铅焊点界面化合物生长的基板双镀层制备工艺
摘要 一种抑制无铅焊点界面化合物生长的基板双镀层制备工艺,包括化学镀Ni‑W‑P层和电镀Cu层。其中化学镀Ni‑W‑P层,其成分按质量百分比构成为:77‑80% Ni,14‑16% W,6‑7% P,所述镀层厚度为3~10µm;而电镀Cu层,其厚度为0.5~3µm。本发明制备的Ni‑W‑P/Cu双镀层成分符合电子封装锡基焊点界面反应阻挡层的使用要求,且镀层与基板结合紧密,镀层平整,厚度均匀,结构致密。本发明具有工艺流程简单、工艺参数容易控制等优势,所制备的Ni‑W‑P/Cu双镀层对锡基焊点界面化合物生长具有非常有效的抑制作用。
申请公布号 CN106480454A 申请公布日期 2017.03.08
申请号 CN201610909871.4 申请日期 2016.10.19
申请人 南昌大学 发明人 胡小武;徐涛;万永强;邱宇;李玉龙
分类号 C23C28/02(2006.01)I;C23C18/36(2006.01)I;C23C18/16(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I 主分类号 C23C28/02(2006.01)I
代理机构 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 代理人 夏材祥
主权项 一种抑制无铅焊点界面化合物生长的基板双镀层制备工艺,其特征在于:A.所述双镀层包括化学镀Ni‑W‑P层和电镀Cu层:所述化学镀Ni‑W‑P层,其成分按质量百分比构成为:77‑80% Ni,14‑16% W,6‑7% P,所述镀层厚度为3~10µm;所述电镀Cu层厚度为0.5~3µm;B. 所述化学镀镀Ni‑W‑P层的制备工艺是:(1)化学镀液的配制:将硫酸镍、柠檬酸钠、次磷酸钠、乳酸、氯化铵和钨酸钠混合并加水搅拌均匀,再使用氨水溶液调整PH至7;所用试剂及药品的纯度为分析纯;化学镀的水浴温度为80~85℃;(2)将纯Cu片置于上述化学镀液中,同时放入0.1g/L的小铝片,保温静置2.5小时,得到Ni‑W‑P镀层厚度7µm;所得镀层厚度可据时间调整,镀层速度为2.84µm/h;C.所述电镀Cu层的制备工艺是:(1)电镀溶液的配制:将焦磷酸铜、硫酸铜、焦磷酸钾、磷酸氢二钾和硫酸混合溶于水中并搅拌均匀;(2)以已进行了化学镀Ni‑W‑P的基板作为阴极,纯铜板作为阳极,通入直流电流;电镀电流密度为1A/dm<sup>2</sup>,电压为3V ;电镀时间5min,电镀Cu厚度为1µm;所得镀层厚度可据时间调整,电镀的速率为0.2µm/min。
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