| 摘要 |
본 발명은 에칭액이 분사되는 분사노즐을 외부면에 일정간격을 두고 구비하는 복수개의 분사관을 갖추고, 에칭액 공급라인과 연결되는 복수개의 분사관을 상기 기판과 일정간격을 두고 이격배치하여 상기 에칭대상물의 표면에 에칭액을 분사하는 분사부; 상기 분사관의 양단을 회전가능하게 지지하는 복수개의 베어링블럭을 구비하는 한쌍의 제1프레임을 갖추고, 상기 한쌍의 제1프레임의 양단을 일체로 연결하는 한쌍의 제2프레임을 갖추어 상기 분사관을 회전가능하게 지지하는 프레임부; 상기 분사관의 일단에 구비된 피니언기어와 맞물리는 래크기어를 갖추고, 상기 제2프레임사이를 연결하는 연결프레임과 외접하는 편심캠을 갖추고, 상기 편심캠을 회전구동시키는 구동모터를 갖추어 상기 프레임부를 에칭대상물의 폭방향으로 직선이동시킴과 동시에 상기 분사관을 일정각도 회전시키는 구동부 및 상기 제1프레임에 고정설치된 안내부재가 안내이동가능하게 조립되는 안내바를 상기 챔버에 고정설치하고, 상기 안내부재와 챔버사이에 개재되어 탄성복원력을 발생시키는 스프링부재를 갖추어 직선이동된 프레임부를 원위치로 복귀이동시킴과 동시에 일정각도 회전된 분사관을 원위치로 복귀회전시키는 복귀부를 포함한다. |
