| 摘要 |
기판 처리를 수행하는 기판 처리 장치 및 기판 처리에 필요한 기체의 온도 및 습도 중 적어도 하나를 조절하여 기판 처리 장치로 공급하는 기체 공급 장치를 포함하는 기판 처리 시스템의 절전 구동 시, 기판 처리 장치 및 기체 공급 장치 중 적어도 하나의 운전 모드 변경 정보를 수신하고, 운전 모드 변경 정보에 기초하여 기체 공급 장치를 미리 설정된 절전 구동 메뉴에 따라 구동하며, 절전 구동 메뉴는 기체 공급 장치에 포함된 유닛 중 기설정된 적어도 하나의 유닛의 구동을 정지시킨다. |
