发明名称 |
一种等离子刻蚀机 |
摘要 |
本实用新型公开了一种等离子刻蚀机,包括箱体和隔板,所述隔板将箱体的内腔分为上腔室和下腔室,所述上腔室内通过支架安装有盒体,所述箱体的外侧分别安装有溶液箱和气泵,且溶液箱和气泵与盒体通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体上安装有喷头,所述支架上安装有发热灯,所述隔板的上端安装有托盘,所述下腔室内安装有集液箱,集液箱与托盘通过管道相连接,且管道上安装有电磁阀,所述下腔室内安装有真空泵,真空泵与上腔室通过管道相连接。本实用新型可单独进行某一种的刻蚀工作,起到一物两用的好处,节省购置一台机器的成本。 |
申请公布号 |
CN205944037U |
申请公布日期 |
2017.02.08 |
申请号 |
CN201620952750.3 |
申请日期 |
2016.08.25 |
申请人 |
温州市赛拉弗能源有限公司 |
发明人 |
孙显强 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种等离子刻蚀机,包括箱体(1)和隔板(2),所述隔板(2)将箱体(1)的内腔分为上腔室(3)和下腔室(4),其特征在于,所述上腔室(3)内通过支架(13)安装有盒体(9),所述箱体(1)的外侧分别安装有溶液箱(10)和气泵(11),且溶液箱(10)和气泵(11)与盒体(9)通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体(9)上安装有喷头(14),所述支架(13)上安装有发热灯(12),所述隔板(2)的上端安装有托盘(5),所述下腔室(4)内安装有集液箱(6), 集液箱(6)与托盘(5)通过管道相连接,且管道上安装有电磁阀,所述下腔室(4)内安装有真空泵(7), 真空泵(7)与上腔室(3)通过管道相连接,所述上腔室(3)的一侧设有加气口(17),所述箱体(1)的外侧安装有射频电源(15),所述射频电源(15)的外侧安装有射频电感线圈(16),所述托盘(5)内安装有静电吸盘(8),且所述射频电源(15)分别与射频电感线圈(16)和静电吸盘(8)电连接。 |
地址 |
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海一道1677号 |