| 摘要 |
【課題】オゾンを高い効率で生成することのできるオゾン発生器を提供すること。【解決手段】オゾン発生器は、酸素を含有する原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、当該原料ガス供給手段からの原料ガスが流通されるガス流路を形成するガス流路形成部材と、当該ガス流路内に配置された、紫外線を放射する紫外線光源とを備え、当該ガス流路を流動する原料ガスに当該紫外線光源からの紫外線を照射することによって原料ガス中の酸素に紫外線を吸収させてオゾンを生成するものであって、前記紫外線光源は、波長２００ｎｍ以下の紫外線を放射するエキシマランプよりなるものであり、前記ガス流路において、紫外線光源が配置されている領域における原料ガスの流速が０．１ｍ／ｓ以上であることを特徴とする。【選択図】図１ |
