パーティクル測定用マスク

摘要

【課題】ＥＵＶ露光装置内でマスクに付着するパーティクルをモニタすることができるパーティクル測定用マスクを提供する。【解決手段】実施形態によれば、第１マスク基板と、支持部材と、パーティクル測定手段と、を備えるパーティクル測定用マスクが提供される。前記支持部材は、マスクステージと接触する側の前記第１マスク基板の第１主面と対向する第２主面の周縁部に配置される。前記パーティクル測定手段は、前記支持部材の側面に配置され、前記第２主面近傍でのパーティクルの有無を測定する。【選択図】図１