振動型アクチュエータの制御装置とその制御方法、駆動装置、撮像装置、及び自動ステージ

摘要

【課題】 楕円運動の振幅、楕円比、又は駆動方向を制御する振動型アクチュエータにおいて、短時間で加減速を行なっても高速で追従する事が可能なフィードフォワード制御方法を提供することを目的とする。【解決手段】 位置偏差を用いたフィードバック演算部の後段に、指令値の時間変化より算出される速度を用いた速度フィードフォワード演算部の出力を加算した値を制御量として、楕円運動の楕円比及び駆動方向の少なくとも一方を制御する。【選択図】 図１