面発光レーザ、レーザアレイ、固体レーザ、情報取得装置、画像形成装置、及びレーザアレイの製造方法

摘要

【課題】 レーザ閾値の増加を低減し、出力を安定にするＶＣＳＥＬを提供する。【解決手段】 活性層１０４の上に配置されたｐ型の第１の半導体層１０５と、第１の半導体層１０５の上に配置され、開口部１３０を有する第２の半導体層１０６と、第２の半導体層１０６の上と開口部１３０に位置する第１の半導体層１０５の上に、開口部１３０による段差を埋めるように配置されたｐ型の第３の半導体層１０７と、を有し、第１の半導体層１０５は、水素を有し、第１の半導体層１０５は、開口部１３０に対応する部分の水素濃度が開口部１３０に対応する部分の外の部分の水素濃度よりも低い水素濃度分布を有する。【選択図】 図１