摘要 |
交流電圧の印加により振動を発生する圧電素子42に固定され、かつ移動体45と接触させて用いられ、前記圧電素子42の振動により屈曲振動して、移動体45を駆動させるための弾性体43を結晶性樹脂で形成する。この弾性体43は、圧電素子42と固定した側の反対側に、歯部43bが形成されていてもよい。前記結晶性樹脂は、ポリアリールケトン樹脂又はポリフェニレンスルフィド樹脂であってもよい。この圧電アクチュエータは屈曲振動伝達性に優れる。また、変位拡大型圧電アクチュエータの変位拡大素子を結晶性樹脂で形成すると、圧電素子の伸縮による変位を大きく拡大できる。さらに、ランジュバン振動子の共振部材を結晶性樹脂で形成すると、低電流(又は低電圧)でも表面を高速に振動させることができる。 |