发明名称 飛翔体の軌跡を求める際に使用する測定装置
摘要 本発明は、飛翔体の軌跡を求める際に使用する測定装置であって、モノリシック構造の複数の光検出器セルを含む少なくとも1つの光検出器装置(411、412、421、422、780、785、880、980)であり、厳密に1つの結像系(700、750、800、900)を割り当てられ、結像系は、測定装置の動作中に、結像系の物体平面(OP)に位置する飛翔体を結像系の像平面(IP)に位置する光検出器装置にいずれの場合も結像する光検出器装置と、通過時点を測定する時間測定デバイスであり、通過時点のそれぞれが、結像系の像平面(IP)に生成される飛翔体の像がいずれの場合も光検出器装置(411、412、421、422、780、785、880、980)の相互に隣接する光検出器セル間のセル境界を越える時点に相当する時間測定デバイスとを備えた測定装置に関する。
申请公布号 JP2017500556(A) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 JP20160534975 申请日期 2014.11.14
申请人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 发明人 マティアス マンガー
分类号 G01B11/00;G03F7/20;H05G2/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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