Induction Plasma Torch with Dual Frequency Power and Nono-sized Particles Production Apparatus using the Same

摘要

본 발명은 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치에 관한 것으로서, 내부에 열플라즈마가 형성되는 공간을 제공하는 중공형 가둠관, 상기 가둠관을 감싸는 유도 코일 및 상기 유도 코일에 전력을 공급하는 전력 공급원을 포함하되, 상기 전력 공급원은 두 개 이상의 서로 다른 주파수를 가지는 전력을 상기 유도 코일에 공급함으로써, 가둠관 내의 열 플라즈마의 온도 분포를 효과적으로 제어하는 것을 특징으로 한다.