| 摘要 |
[과제] 배치되는 진공 펌프의 배기구 전체의 온도를 효율적으로 올리는 배기구 부품, 및 상기 배기구 부품이 배치된 진공 펌프를 제공한다. [해결 수단] 본 발명의 실시 형태에 따른 배기구 부품은, 배기구 부품에 배치된 히터로부터 얻어지는 열을, 베이스측으로 전달하기 어렵게 하고, 배기구의 안쪽(진공 펌프측)으로 효율적으로 전달하기 위한 단열부를 구비한다. 또, 본 발명의 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 상기 단열부를 가지는 배기구 부품을 구비한다. 본 실시 형태에 따른 배기구 부품의 단열부는, 배기구 부품의 외주면에 형성된 플랜지부와 상기 플랜지부에 밀착하여 배치된 단열 스페이서를 구비한다. 혹은, 배기구 부품의 외주면에 형성된 플랜지부와 상술한 단열 스페이서가 일체형으로 형성된 구성을 가지는 배기구 부품 플랜지부가 단열부가 된다. 이 구성에 의해, 진공 펌프의 배기구 전체의 온도를 효율적으로 올려 생성물·퇴적물의 양을 저감시킬 수 있다. |
