Transparent electrode thin film and the preparing method thereof

摘要

본 발명은 투명 전극 박막 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 나노 클러스터층을 포함함으로써 질화물 반도체와의 오믹접촉 형성을 위한 투명 전극 박막 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 질화갈륨 반도체의 표면에 스퍼터링 방식으로 투명 전극을 형성할 시 스퍼터링에 앞서 나노 클러스터 층을 형성함으로써, 스퍼터링에 의한 이온 데미지를 억제할 수 있어 질화물 반도체층에 우수한 오믹 접촉을 형성할 수 있다.