| 发明名称 | 一种多晶硅铸锭快速退火冷却工艺 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种多晶硅铸锭快速退火冷却工艺，包括：在第一预设时间内，将长晶结束后的多晶硅铸锭温度降至退火温度；在所述退火温度下，将所述多晶硅铸锭保温，持续第二预设时间；将退火完成的所述多晶硅铸锭以1.5℃/min至5℃/min的速率进行冷却，所述冷却过程持续第三预设时间。本申请提供的上述多晶硅铸锭快速退火冷却工艺，能够降低多晶硅铸锭的位错缺陷水平，有效提升多晶硅铸锭的品质，同时减少运行周期，提高多晶铸锭炉台生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN106048734A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201610632643.7 | 申请日期 | 2016.08.04 |
| 申请人 | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 | 发明人 | 肖贵云;陈伟;金浩 |
| 分类号 | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 罗满 |
| 主权项 | 一种多晶硅铸锭快速退火冷却工艺，其特征在于，包括：在第一预设时间内，将长晶结束后的多晶硅铸锭温度降至退火温度；在所述退火温度下，将所述多晶硅铸锭保温，持续第二预设时间；将退火完成的所述多晶硅铸锭以1.5℃/min至5℃/min的速率进行冷却，所述冷却过程持续第三预设时间。 | ||
| 地址 | 334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号 | ||