主权项 |
一种基于级联光学谐振腔大范围高灵敏度光传感器,其特征在于,它包括波长可调光源(1)、输入光栅(2)、Y分支分束器(3)、连接波导(41‐44)、表面开窗的传感光学谐振腔(5)、表面开窗的参考光学谐振腔(6)、表面不开窗的参考光学谐振腔(7)、输出光栅耦合器(81‐84)和探测器(91‐94)等;所述波长可调光源(1)与输入光栅(2)连接;所述输入光栅(2)与Y分支分束器(3)的输入端口(31)连接;所述Y分支分束器(3)的两个输出端口(32、33)分别与第三连接波导(43)和第四连接波导(44)相连;第一连接波导(41)和第二连接波导(42)均与表面开窗的参考光学谐振腔(6)耦合;第二连接波导(42)和第三连接波导(43)均与表面开窗的传感光学谐振腔(5)耦合;第三连接波导(43)和第四连接波导(44)均与表面不开窗的参考光学谐振腔(7)耦合;第一连接波导(41)、第一输出光栅耦合器(81)、第一探测器(91)依次连接,第二连接波导(42)、第二输出光栅耦合器(82)、第二探测器(92)依次连接,第三连接波导(43)、第三输出光栅耦合器(83)、第三探测器(93)依次连接,第四连接波导(44)、第四输出光栅耦合器(84)、第四探测器(94)依次连接。 |