반도체 처리를 위한 지지 링이 제공된다. 지지 링은 내부 에지와 외부 에지에 의해 정의되는 링 형상 바디를 포함한다. 내부 에지 및 외부 에지는 중심 축에 대해 동심이다. 링 형상 바디는 제1 면, 제2 면, 및 내부 에지에서 링 형상 바디의 제1 면으로부터 연장되는 상승된 고리형 숄더를 더 포함한다. 지지 링은 제1 면 상의 코팅을 또한 포함한다. 코팅은 상승된 고리형 숄더에 접하는 감소된 두께 영역의 내부 영역을 갖는다.
申请公布号
KR20160103128(A)
申请公布日期
2016.08.31
申请号
KR20167020960
申请日期
2014.11.25
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
BEHDJAT MEHRAN;TAM NORMAN L.;HUNTER AARON MUIR;RANISH JOSEPH M.;NAKANISHI KOJI;NAKAGAWA TOSHIYUKI
