一种低成本的便携式氢气光学传感器

摘要

该专利技术属于分析及测量控制技术领域中的G01J。市面上的便携式氢气光学传感器抗电磁干扰比较弱，因此对运行的环境要求相对较高。本发明使用三氧化钨和贵重金属混合物来制备光学氢气传感器，该专利运用射频溅射方法来制备三氧化钨薄膜，靶心为钯。氢气是一种清洁并取之不尽的能源。它被认作为缓解当今严峻的能源问题的一个潜在的解决方法。然而，氢气的爆炸浓度范围非常大，而且它所需的点燃能量非常低并具有非常快的传播速度。氢气非常小的分子尺度也导致了它的储藏和运输非常困难。因此，低成本的便携式氢气光学传感器能精确、快速地应用到各种环境的氢气浓度探测。

主权项

该专利运用射频溅射的方法来制备三氧化钨薄膜。