发明名称 一种高效率真空镀膜系统
摘要 本发明公开了一种高效率真空镀膜系统,包括:进料装置、镀膜架、镀膜室、处理器、驱动装置和出料装置,所述进料装置、镀膜架之间相连接,所述处理器位于所述镀膜室内,所述镀膜室内包含有若干镀膜装置。通过上述方式,本发明提供的高效率真空镀膜系统,避免了镀膜气体的污染,且提高了镀膜的质量,且镀膜的方式较为方便,使用工厂的大规模的使用。
申请公布号 CN105803387A 申请公布日期 2016.07.27
申请号 CN201610372217.4 申请日期 2016.05.31
申请人 苏州普京真空技术有限公司 发明人 陈学兵
分类号 C23C14/00(2006.01)I 主分类号 C23C14/00(2006.01)I
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人 徐萍
主权项 一种高效率真空镀膜系统,其特征在于,包括:进料装置、镀膜架、镀膜室、中央处理器、驱动装置和出料装置,所述进料装置、镀膜架之间相连接,所述中央处理器位于所述镀膜室内,所述镀膜室内包含有若干镀膜装置。
地址 215000 江苏省苏州市高新区金狮大厦11楼AB座