基于双波面干涉条纹阵列的表面形貌测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于双波面干涉条纹阵列的表面形貌测量装置及方法，基于剪切干涉的自参考干涉原理，建立具有完全共光路、简单、紧密、稳定可靠的结构，实现方便稳定共路的剪切；同时建立包括图像采集、图像处理、测量结果显示三部分在内的软件系统，使得整个测量系统在操作者和计算机的协调控制下进行表面形貌精密测量。本发明能实现精密加工表面形状在线测量，为表面质量在线监测和进一步的适应性表面质量控制创造了条件，对微电子加工、MEMS、光电子信息技术、航空航天技术和其它高技术领域发展和应用中的高精密表面加工具有重要意义。

主权项

基于双波面干涉条纹阵列的表面形貌测量装置，其特征在于，包括计算机、数模转换卡、相移器、驱动电路、激光器、干涉条纹阵列发生模块以及图像显微采集模块；所述计算机、数模转换卡、驱动电路、激光器、干涉条纹阵列发生模块依次连接；所述相移器的输入端连接数模转换卡，输出端连接激光器；所述计算机与图像显微采集模块连接。