金属有机化学气相沉积装置及使用该装置的方法

摘要

一种金属有机化学气相沉积方法及装置，实现长金属管件内表面薄膜沉积，有利于降低金属管件内表面镀膜成本。用于金属管件(5)加热用的电控系统和温控系统；与金属管件(5)两端相连接的导电夹具(3)；在金属管件上包有保温层(4)；与金属管件(5)一端相连的金属有机源导入通路；温控系统连接该端的金属管件(5)所连接的有机源挥发室(8)的温度测试的外表面热电偶(11)；与金属管件(5)另一端相连接的由机械泵(1)、真空计(2)构成的真空抽气系统；用于金属管件腔体真空保持的管件两端绝缘密封件(6)；在机械泵(1)抽真空时，在金属管件(5)腔体内形成真空状态；温控系统连接该端的金属管件(5)所连接的温度测试的外表面热电偶(12)。

主权项

一种金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，包括：用于金属管件加热用的电控系统和温控系统；与金属管件两端相连接的导电夹具；在金属管件上包有用于保温用的的保温层；与金属管件一端相连的金属有机源导入通路，该金属有机源导入通路是由储气罐连接有机源挥发室、质量流量计以及在有机源挥发室外的具有加热作用的金属有机源加热组件所组成；温控系统连接该端的金属管件所连接的有机源挥发室的温度测试的外表面热电偶；与金属管件另一端相连接的由机械泵、真空计构成的真空抽气系统；所述金属管件两端分别与密封件连接电绝缘；在机械泵抽真空状态下，在金属管件腔体内形成真空状态；温控系统连接该端的金属管件所连接的的温度测试的外表面热电偶。