一种硅溶胶的处理方法

摘要

本发明涉及一种硅溶胶的处理方法，属于微电子辅助材料及超精密加工工艺技术领域。该方法包括以下步骤：将强酸型阳离子交换树脂及强碱型阴离子交换树脂分别进行再生处理后混合得到强酸强碱混合树脂；将普通硅溶胶和强酸强碱混合树脂放到一起，并控制温度进行搅拌至混合均匀；在上述搅拌过程中添加唑类化合物和有机酸、碱。本发明为克服了现有技术中普通硅溶胶在CMP抛光运用中的缺点，提升其在CMP抛光中的运用范围，使常规硅溶胶经过处理后在pH 1-12范围内都稳定存在，且在CMP抛光过程中可保持颗粒稳定，保持抛光过程中温度的稳定性，获得均匀表面。

主权项

一种硅溶胶的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将强酸型阳离子交换树脂及强碱型阴离子交换树脂分别进行再生处理；(2)将再生好的强酸型阳离子交换树脂及强碱型阴离子交换树脂按体积比10∶1混合得强酸强碱混合树脂，并装入带有冷却、加热及搅拌的容器中；(3)将普通硅溶胶加入到装有强酸强碱混合树脂的容器中，控制硅溶胶温度为30℃，强酸强碱混合树脂与硅溶胶的重量比为1∶30；(4)打开容器中的搅拌装置，搅拌，使普通硅溶胶与强酸强碱混合树脂混合均匀；(5)在步骤(4)进行过程中添加一氮唑，添加量为硅溶胶中二氧化硅质量的5％；搅拌15min后添加羟基乙酸，添加量为硅溶胶中二氧化硅质量的1％；再搅拌15min后添加羟乙基乙二胺，添加量为硅溶胶中二氧化硅质量的2％；普通硅溶胶中二氧化硅含量为20％，粒径为20nm；处理后硅溶胶的pH为7.5。