一种精密的激光抛光装置及其方法

摘要

本发明提供了一种精密的激光抛光装置及其方法，将表面涂覆有微纳米颗粒的玻璃板帖附在待抛光工件表面，微纳米颗粒位于玻璃板与待抛光工件之间，采用脉冲激光器发射出脉冲激光，聚焦的脉冲光束辐射于表面涂覆有微纳米颗粒的玻璃板，微纳米颗粒相当于一聚焦透镜，激光经微纳米颗粒聚焦后，在微纳米颗粒周围产生能量增强，使待抛光工件表面凸出或尖端部分熔化，实现抛光效果。本发明是利用微纳米颗粒的局域场增强效应，通过微纳米颗粒会聚脉冲激光作用于材料表面，实现微纳米尺度范围的激光抛光技术。抛光装置搭建方便，简单易行；对于复杂形态和外貌的待抛光工件表面，使用该方法依然获得良好的抛光效果。

主权项

一种精密的激光抛光装置，其特征在于，包括脉冲激光器(1)、扫描阵镜(2)、聚焦偏转光学系统(3)、三维移动平台(11)、玻璃板(4)、聚焦偏转光学系统控制板(6)、激光控制板(7)、三维精密控制装置(8)、计算机(9)、微纳米颗粒(10)，所述扫描振镜(2)、聚焦偏转光学系统(3)位于所述脉冲激光器(1)的激光光路上，所述微纳米颗粒(10)涂覆在玻璃板(4)表面上，所述玻璃板(4)涂覆有微纳米颗粒(10)的一面贴合在待抛光工件(5)上，所述待抛光工件(5)放置在三维移动平台(11)上；所述聚焦偏转光学系统控制板(6)、激光控制板(7)、三维精密控制装置(8)均与计算机(9)连接，所述三维移动平台(11)与三维精密控制装置(8)相连，聚焦偏转光学系统控制板(6)与聚焦偏转光学系统(3)相连，所述激光控制板(7)与脉冲激光器(1)相连。