| 发明名称 |
用于在工厂介面处净化基板载具的系统、设备及方法 |
| 摘要 |
明的实施例提供用于净化基板载具的系统、装置及方法。实施例包括框架，该框架经配置以坐落在装载端口门附近而不干扰工厂介面或设备前端模组机器人的运作；一或更多个基板间喷嘴阵列，该基板间喷嘴阵列由该框架支撑且经配置以喷射气体到基板载具中；一或更多个布幕喷嘴阵列，该布幕喷嘴阵列由该框架支撑且经配置以喷射气体横越该基板载具的开口。许多额外的态样被揭示。
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| 申请公布号 |
TW201618219 |
申请公布日期 |
2016.05.16 |
| 申请号 |
TW104134921 |
申请日期 |
2015.10.23 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
伊尔萨柏拉玛尼安Ｖ;斯里裘南达玛拉特南;荷亚纳法尔迪文拉帕;麦克里欧道格拉斯;卡尔潘特肯尼斯;库玛纳文;劳维夫克Ｒ;帕内斯派克 |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
李世章;彭国洋 |
| 主权项 |
一种用于在一工厂介面(factory interface,FI)或设备前端模组(equipment front end module,EFEM)的一装载端口处净化一基板载具的套组，该套组包括：一框架，该框架经配置以坐落在一装载端口门附近而不干扰一FI机器人或一EFEM机器人的运作；一或更多个基板间喷嘴阵列，该基板间喷嘴阵列由该框架支撑且经配置以喷射气体到一基板载具中；及一或更多个布幕喷嘴阵列，该布幕喷嘴阵列由该框架支撑且经配置以喷射气体横越该基板载具的一开口。
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| 地址 |
美国 |
