光源设备，照明装置，曝光设备，及装置制造方法

摘要

明提供一种光源设备，其包括：被建构为从具有预先决定的尺寸的发光区域发射光束的光源；和被建构为会聚光束而允许光束离开至外面的聚光器。该发光区域具有旋转对称的发光强度分布。该聚光器旋转对称于被定义为发光区域的旋转对称轴的光轴、被设置为包围该发光区域、并且四个或更多个反射镜，每一反射镜具有用于反射从该发光区域发射的光束的反射表面。该四个或更多个反射镜包含反射表面为椭圆形的椭圆表面反射镜和反射表面为球面的球面反射镜。该椭圆表面反射镜和该球面反射镜沿该光轴的方向被交替布置，并且被一个球面反射镜反射的光束进一步被跨着该发光区域相对设置的一个椭圆表面反射镜反射，而允许光束离开至外面。

主权项

一种光源设备，包含：光源，其被建构来从具有预先决定的尺寸的发光区域发射光束；及聚光器，其被建构来会聚光束用以允许光束(light flux)离开至外面，其中，该发光区域具有旋转对称的发光强度分布，该聚光器旋转对称于被定义为该发光区域的旋转对称轴的该光轴、被设置为包围该发光区域、且具有四个或更多个反射镜，每一反射镜具有用于反射从发光区域发射的光束的反射表面，该四个或更多个反射镜包含椭圆表面反射镜，其反射表面为椭圆形、和球面反射镜，其反射表面为球面，及该等椭圆表面反射镜和球面反射镜沿该光轴的方向被交替地设置，并且，一被一球面反射镜反射的光束被一个跨越该发光区域相对地设置的椭圆表面反射镜进一步反射，用以允许该光束离开至外面。