具有紧凑无轴直接驱动器的基板传输设备

摘要

一种基板传输设备包括框体、可旋转地连接至所述框体的至少一个臂连杆和无轴驱动部段。所述无轴驱动部段包括堆叠的驱动电动机，用于经由无轴界面相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆，所述堆叠的驱动电动机中的每个包括定子和转子，所述定子具有定子线圈，所述定子线圈设置在相对于所述框体固定的固定支柱上，所述转子大致周向地环绕所述定子，使得所述转子连接至所述至少一个臂连杆中的相应一个，以相对于所述框体旋转所述至少一个臂连杆中的一个，从而导致所述至少一个臂连杆之一的伸出或缩回，其中所述堆叠的驱动电动机设置在所述至少一个臂连杆中，使得每个定子的至少一部分处于所述至少一个臂连杆的共用臂连杆内。

主权项

一种基板传输设备，包括：框体；至少一个臂连杆，其可移动地连接至所述框体；和驱动部段，其连接至所述框体用于驱动至少一个臂连杆，并包括堆叠的驱动电动机，所述堆叠的驱动电动机中的每个具有壳体、安装至所述壳体的电动机定子、至少部分地设置在所述壳体内的电动机转子和定子密封件，所述定子密封件设置在电动机定子与电动机转子之间，环绕电动机转子并与面向转子的密封壳体表面交接，以相对于电动机转子密封电动机定子；其中，所述堆叠的驱动电动机彼此堆叠，并且与每个相应的堆叠电动机的堆叠定子密封件交接的壳体密封表面一起形成所述堆叠的驱动电动机的大致连续的密封界面，其被堆叠的定子密封件密封，以在电动机转子与电动机定子之间形成连续的屏障密封。