| 发明名称 | 一种掩膜版的清洗装置及清洗方法、蒸镀设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜版的清洗装置及清洗方法、蒸镀设备。该掩膜版的清洗装置包括振荡装置，所述振荡装置设置于掩膜版上，所述振荡装置在所述掩膜版完成蒸镀后对其施加振动力，使所述掩膜版上的残留材料脱落。而且，该掩膜版的清洗装置还包括静电吸附装置，所述静电吸附装置通过产生的静电吸附所述掩膜版上的残留材料。本发明利用超声振荡原理实现的有机发光材料清洗方法，可以有效避免有机溶剂和高温汽化等清洗方法带来的掩膜版损坏、资源浪费和环境污染等问题。另外，超声振荡清洗还可避免外部污染的引入，使回收的材料可以重复利用，极大地节约了时间和资源成本，适用于绿色生产和大规模量产的发展方向。 | ||
| 申请公布号 | CN105537194A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201610005888.7 | 申请日期 | 2016.01.04 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 发明人 | 王强;刘利宾 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李相雨 |
| 主权项 | 一种掩膜版的清洗装置，其特征在于，包括振荡装置，所述振荡装置设置于掩膜版上，所述振荡装置在所述掩膜版完成蒸镀后对其施加振动力，使所述掩膜版上的残留材料脱落。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||