| 发明名称 | 对探针卡在测试过程中防止烧针的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种对探针卡在测试过程中防止烧针的方法，每当探针卡移动到一个或一组新的被测芯片上时，连接在所有被测芯片上的所有测试通道，包括电源电压均设定为低电平，并且打开电源上的去耦电容开关，使之前累积在所有测试通道上的电荷泄放；当一个或一组新的被测芯片在测试程序的某个测试项目上发生了失效时，需要马上将其踢除，亦即所有的测试通道均下电。本发明能提高探针卡的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN105527471A | 申请公布日期 | 2016.04.27 |
| 申请号 | CN201610025322.0 | 申请日期 | 2016.01.15 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 辛吉升;桑浚之 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I | 主分类号 | G01R1/067(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 戴广志 |
| 主权项 | 一种对探针卡在测试过程中防止烧针的方法，其特征在于：每当探针卡移动到一个或一组新的被测芯片上时，连接在所有被测芯片上的所有测试通道，包括电源电压均设定为低电平，并且打开电源上的去耦电容开关，使之前累积在所有测试通道上的电荷泄放；当一个或一组新的被测芯片在测试程序的某个测试项目上发生了失效时，需要马上将其踢除，亦即所有的测试通道均下电。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||