| 发明名称 | 制造至少一变形膜微泵的方法及变形膜微泵 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与所述第一衬底（10）相互组装在一起的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二衬底（20）包含面对所述孔穴（12-2）设置的至少一变形膜（22-2）。所述方法包含下列步骤：在所述第一衬底（10）内制造所述孔穴（12-2）；然后组装所述第一衬底（10）以及所述第二衬底（10）；然后在所述第二衬底内（20）制造所述变形膜（22-2）。 | ||
| 申请公布号 | CN102782324B | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201080051330.3 | 申请日期 | 2010.11.12 |
| 申请人 | 法国原子能与替代能委员会 | 发明人 | 伊夫·法布里斯;弗朗索瓦·贝厄罗斯;马丁·切特;桑德琳·毛贝特 |
| 分类号 | F04B43/04(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I | 主分类号 | F04B43/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人 | 张全文 |
| 主权项 | 一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底(10)及一与第一衬底(10)相互组装在一起的第二衬底(20)，所述第一衬底(10)包含一第一孔穴(12‑2)及一第二孔穴(12‑1；12‑3)，且所述第二衬底包含分别面对所述第一孔穴(12‑2)及所述第二孔穴(12‑1；12‑3)设置的一第一变形膜(22‑2)及一第二变形膜(22‑1；22‑3)，所述第一衬底(10)及所述第二衬底(20)是一起界定一微通道的一部分，其中所述第一孔穴(12‑2)、所述第二孔穴(12‑1；12‑3)、所述第一变形膜(22‑2)及所述第二变形膜(22‑1；22‑3)位于所述微通道，所述方法包含下列步骤：在所述第一衬底(10)内制造所述第一孔穴(12‑2)及所述第二孔穴(12‑1；12‑3)；然后将所述第一衬底(10)以及所述第二衬底(20)组装在一起；以及在所述第二衬底(20)制造所述第一变形膜(22‑2)及所述第二变形膜(22‑1；22‑3)；其特征在于，制造所述变形膜的步骤在组装所述第一衬底以及所述第二衬底的步骤之后完成，其中在制造所述第一变形膜及所述第二变形膜的步骤之后，所述第二衬底(20)在其整个表面具有一基本上水平的顶面(21S)。 | ||
| 地址 | 法国巴黎市 | ||