干涉仪

摘要

本发明给出一个干涉仪，它包括一光源、一分光器、一参考反射器、一测量反射器、一检测单元以及至少两个透明的平板。通过分光器将光束分裂成至少一测量光束和一参考光束。直到再联合所述测量光束在测量臂中传播，所述参考光束在参考臂中传播。所述参考光束至少三次入射到设置在参考臂上的参考反射器上。所述测量反射器设置在测量臂里面并且与测量目标连接，所述测量目标沿着测量方向相对于参考反射器运动，所述测量光束至少三次入射到测量反射器上。通过检测单元可以检测来自干涉的测量和参考光束相对于测量目标位置的至少一距离信号。所述平板相互平行地在光程中设置在光源与检测单元之间。至少测量反射器相对于平板沿着测量方向运动。所述平板分别包括多个光学元件，它们施加这样的光学作用在测量光束和参考光束上，使所述测量光束和参考光束分别相互平行地在测量和参考反射器的方向上传播。

主权项

一种干涉仪具有‑一光源（10;110），‑一第一分光器（30.1;125.1），它将由光源（10;110）发射的光束（S）分裂成至少一测量光束（M）和至少一参考光束（R），通过它们撑开一个分裂面（AE），其中直到在联合面（VE）中的联合地点上再联合所述测量光束（M）在测量臂中传播，所述参考光束（R）在参考臂中传播，其中所述联合面（AE）平行于分裂面（AE）取向，‑一参考反射器（50;150），它设置在参考臂里面，其中所述参考光束（R）至少三次入射到参考反射器（50;150）上，‑一测量反射器（40;140），它设置在测量臂里面并且与测量目标（41;141）连接，所述测量目标沿着测量方向（MR）相对于参考反射器（50;150）运动，并且其中所述测量光束（M）至少三次入射到测量反射器（40,140）上，‑一检测单元（60;160），通过它可以检测来自在联合地点上叠加的、干涉的测量和参考光束（M,R）相对于测量目标（41;141）位置的至少一距离信号，‑至少两个透明的平板（20,30;120,15,130），它们相互平行地在光程中设置在光源（10;110）与检测单元（60;160）之间，其中至少测量反射器（40;140）相对于平板（20,30;120,125,130）沿着测量方向（MR）运动，并且所述平板（20,30;120,125,130）分别包括多个光学元件，它们施加这样的光学作用在测量光束（M）和参考光束（R）上，使所述测量光束（M）和参考光束（R）分别相互平行地在测量和参考反射器（40,50;140,150）的方向上传播。