Defect Observation Device and Laser Processing Apparatus having the same

摘要

본 발명의 실시 예에 따른 관찰기 및 이를 구비하는 레이저 처리장치는, 기판을 촬영하는 카메라와, 상기 기판 표면의 이미지를 상기 카메라에 맺히게 하는 이미지 결상계, 및 파장이 다른 복수의 조명광들 중 적어도 하나를 선택하고, 상기 기판을 향하여 조명광을 출사하는 조명계를 포함하고, 조명광의 색을 선택적으로 사용하여 기판 상 결함에 대한 시인성을 개선할 수 있는 관찰기 및 이를 구비하는 레이저 처리장치에 관한 것이다.