发明名称 |
水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器 |
摘要 |
本申请提供了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。该水汽阻隔膜包括衬底与设置在衬底表面的水汽阻隔层,水汽阻隔层包括硅氧化物与铝氧化物,且硅氧化物与铝氧化物的重量比在1:1~7:3之间,水汽阻隔膜的厚度在20~200nm之间。该水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入,进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。 |
申请公布号 |
CN105405986A |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201510946391.0 |
申请日期 |
2015.12.16 |
申请人 |
张家港康得新光电材料有限公司 |
发明人 |
张玉春;王平;阮国宇 |
分类号 |
H01L51/52(2006.01)I;H01L51/54(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/52(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
赵囡囡;吴贵明 |
主权项 |
一种水汽阻隔膜,包括衬底(10)与设置在所述衬底(10)表面的水汽阻隔层(20),其特征在于,所述水汽阻隔层(20)包括硅氧化物与铝氧化物,且所述硅氧化物与所述铝氧化物的重量比在1:1~7:3之间,所述水汽阻隔膜的厚度在20~200nm之间。 |
地址 |
215634 江苏省苏州市张家港市晨港路85号 |