液体处理装置及液体处理方法

摘要

明之目的在于提供一种液体处理装置，其可在不同高度的位置进行液体处理与乾燥处理。

主权项

一种液体处理装置，其特征为包含：基板保持部，其自基板的上方以基板的表面朝向下方之状态保持基板；旋转驱动部，其使该基板保持部旋转；基板保持部升降构件，其使该基板保持部上升至乾燥基板的上方位置及下降至对基板进行液处理之下方位置；处理液供给部，其对该基板供给处理液；液体接收杯体，在对该基板供给该处理液时，其围住该基板；乾燥杯体，在对该基板供给该处理液时，其位于该基板与该液体接收杯体的上方；以及气流路径，在该乾燥杯体与该液体接收杯体之间，吸入该乾燥杯体外侧之气体；该乾燥杯体，在乾燥该基板时，围住该基板，并且位于该液体接收杯体的上方。