Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan, gemäß dem Trichlorsilan unter Verwendung von Silicium mit darauf durch einheitliches Verteilen und Aufbringen einer Kupferverbindung auf der Oberfläche des Siliciums und anschließendem Durchführen einer Wärmebehandlung einheitlich gebildetem Kupfersilicid mit verbesserter Ausbeute erhältlich ist.