| 摘要 |
본 발명은 적어도 기판에 수직인 자장과 평행한 자장을 혼합하여 각 자장 성분을 분리 가능한 상태에서 검지할 수 있는 자기 센서 및 그 자기 검출 방법에 관한 것이다. 자기 센서의 일 실시 형태는, 직교하는 3축의 자기를 검출하는 자기 센서에 의해, 제1 방향의 자장 성분을 검지하는 자기 감지재를 갖는 자기 검지부(50a 또는 50b)와, 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 자장 성분과, 제1 및 제2 방향 중 어느 쪽으로도 직교하는 제3 방향의 자장 성분을 제1 방향의 자장 성분으로 변환하는 자장 방향 변환부(60a, 60b)를 구비한다. |
