液体喷射装置及其一体成型制造方法

摘要

本发明提供一种液体喷射装置及其一体成型制造方法，其中，方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个压力发生部件对应的压力腔室以及与多个压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在喷孔板上形成有与压力腔室连通的喷孔。本发明提供的液体喷射装置及其一体成型制造方法，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。

主权项

一种液体喷射装置一体成型制造方法，其特征在于，包括：在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在所述压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在所述喷孔板上形成有与所述压力腔室连通的喷孔；所述在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，包括：在第一基底第一表面上设置腔室层并曝光，限定压力腔室和公共腔室的形状和位置，所述腔室层的材料为负性光敏胶；显影形成压力腔室和公共腔室；所述通过键合工艺在所述压力腔室上成形有喷孔板，包括：在第二基底上悬涂喷孔层，所述喷孔层的材料为负性光敏胶；通过键合工艺将所述腔室层的腔室壁与所述喷孔层粘接在一起；剥离所述第二基底。